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PVD硬质涂层真空镀膜机应用介绍及它的系统特点

         PVD超硬质涂层(工模具)真空镀膜机是当今世界上用于表面涂装PVD膜层的先进专用设备,运用PLC及触摸屏实现自动化逻辑程序控制操作,设备结构合理、外观优雅、性能稳定、操作达到人机对话,简便,镀出的膜层牢固且细密,是工业化生产的理想设备,其最大特点是它的环保性,真空镀膜设备属于无三废、无污染的清洁生产设备,无须环保部门审批。由于配有先进的电器控制系统及稳定的工艺界面,针对各种金属进行表面镀膜.例如:钟表行业(表带、表壳、表盘等)、五金行业(卫生洁具、门把手、拉手、门锁等)、建筑行业(不锈钢板、楼梯扶手、立柱等)、精密模具业(冲棒标准件模具、成型模具等)、工具行业(钻头、硬质合金、铣刀、拉刀、刀头)、汽车工业(活塞、活塞环、合金轮毂等)以及钢笔、眼镜等等,使其表面得到既美观又耐磨的功能性磨层.主要镀制的膜层有:离子金、离子银、氮化钛膜、碳化钛膜、氮化锆膜、钛铝合金膜、氮化铬以及RP镀等超硬功能性金属膜,经离子镀膜加工后的工件,可以提高硬度、耐磨度,抗腐蚀和美化的作用。可镀制颜色有钛金系列、锆金系列、拉丝系列、黑色系列、彩色膜层系列共十多种色系。

真空镀膜机

 
        PACVD硬质涂层真空镀膜机系统的特点:
(1)2个等离子激发源(射频,直/直流脉冲)
(2)安装在两边的2闭合场非平衡磁控管溅射
(3)带有一个前门的六角形真空室,保证一个洁净的环境
(4)干式真空系统设计安装在一个单独的空间,处理高吞吐量的碳氢化合物和其他工艺气体
(5)基材和导电与非导电涂层及组合高效原位清洗的离子激发系统
(6)可选择的等离子体激发模式和频率使等离子的密度和能量适应基材增压特性,以最小压强进行电离作用
(7)百叶窗减少在PACVD进程的磁控管靶材中毒
(8)单独的PACVD工艺中不强制转动的时候,一种行星式转动也能够使溅射涂层统一沉积
(9)特别是在PACVD过程特殊设计的进气系统能够优化涂层的均匀性和清洁度
(10)泵的选择编排和上下的蒸汽压力调节,保证了涂层系统的高可靠性
(11)iFIX基础的控制系统,易于批次、配方和报警处理
(12)所有数据的采集,保证最佳的过程控制。工艺过程中定制曲线图做到最佳检查方案。在批次运行过程中,操作者也可复制更改或新建工艺
(13)用户可自行设置进入控制系统的权限,以保证系统的质量和安全性
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